1）分辨率（分辨能力）
    多采用波数差（△υ）的大小来表示仪器的分辨率。国产光栅红外光谱仪的分辨率一般为1～1.5cm-1/1000cm-1。FT-IR仪器的分辨率可达0.5～0.2cm-1。
 1.用聚苯乙烯薄膜为试样，仪器应在3100～2800cm－1区间分出七个碳氢键伸缩振动峰（其中五个不饱和碳氢伸缩峰，两个饱和碳氢伸缩峰）。依次为:3104 cm-1、3083cm-1、3061 cm-1、 3027cm-1 、3001cm-1 ，2924cm-1 、2851cm-1。
2.也可用聚苯乙烯薄膜的IR光谱图中，2851cm-1与2924cm-1两相邻吸收峰间的分离深度来衡量仪器的分辨率。一般应大于15％。
2）波数准确度及重复性
波数重复性是多次重复测量同一样品，所得zui大峰位值与zui小峰位值之差。常用0.1mm聚苯乙烯薄膜及茚的红外光谱上的峰位值，来核对波数（或波长）的准确度。